该氦检漏设备支持真空腔体尺寸按需定制，可配置多腔体多工位结构，单次检测周期低至14秒，漏率检测灵敏度达1.0*10-6 mbar*l/s。系统覆盖宽泛的充氦压力范围，包括低压（5—50kPa）、中压（0.5—35Bar）及高压（35—200Bar）模式，并集成氦气回收装置，回收效率≥98%，氦气浓度可调范围为10%至99.99%。设备兼容机器人自动化集成与倍速链输送系统，实现高精度、高效率的智能化泄漏检测流程，满足多样化工业生产场景需求。